一般高纯气体输送系统的质量控制主要由压力试验、氦泄漏检测、水分分析、氧分分析和颗粒度分析组成,有些特殊的场合还会涉及到总碳氢化合物等物质的分析测定。一些工业气体系统还会涉及到X射线探伤等检查。本文主要针对高纯气体系统,对于工业气体系统的质量控制暂不作讨论。
高纯气体系统的压力测试,主要是为了检查气体系统的气密性及耐压性,为避免污染,高纯系统压力测试采用气压试验,不可采用水压试验,不得使用检漏液。试验气体应采用高纯氮气或氩气,不可采用氦气。试验用压力计已经校验,并在校检期内。试验用压力表,直径应大于150mm。对于低压(<150p sig),要求最小刻度为1p sig;对于高压(>500p sig),最小刻度可采用5p sig的刻度;压力测试分耐压测试和保压测试两种。耐压测试采用设计压力的115%,时间30m in。保压测试采用设计压力的90%,时间24h;特气系统的测试压力最高不超过2000p sig,一些超高压系统压力测试一般加增压泵辅助增压的方式进行。考虑温度修正后,压降值不得超过1%。
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