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臭氧发生器有以下部分组成：
- 气源入口和分布室；
- 高压分配安装在气源入口分布室，为臭氧发生单元提供电能；
- 发生器罐体，臭氧放电体安装在里面；
- 臭氧出口收集室；
- 冷却水腔，在发生器罐体和通过两端已焊接的密封的不锈钢管隔离，作为冷却水腔。
- 冷却输入口和出口管道；
- 放电体安装在不锈钢管内；
- 罐体作为接地电极；
放电体数量在设计时留有充足的余量，即使由于不可预见故障放电单元损坏（最高10％），臭氧系统还可以达到全负荷工作，臭氧产量不会低于设计产量，这样可以保证臭氧系统能继续正常运行直到计划的维护时间再检修。
部分不能生产臭氧的能量转化为热能释放，必须通过冷却水腔流过足够流量的冷却水带走。臭氧发生器运行在6000V电压和800HZ频率条件下。该参数的选择不仅仅是为了提供优化的条件高效发生臭氧，而且是由于安全可靠的设计思路。6000V的放电电压大大减少了电力冲击，保证了放电体的使用寿命更长。发生器设计为24小时连续工作，每一台预先安装好了相关的仪表和阀门。臭氧发生器是完全一体化安装的，出厂前已将管道，阀门、仪表和电缆安装在发生器上，而且全套系统在工厂已完成了全部测试。
