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与螺杆式紧缩机类似，螺杆式干式真空泵的工作进程可分为吸气、紧缩和排气三个进程。跟着转子的旋转，每对互相啮合的齿相继结束相同的工作循环，如今以其中一对齿来说明。
吸气进程：
阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。
紧缩进程：
转于端面是排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转于沿逆时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。
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